Bae, Gwi Nam 2024-01-12T11:41:46Z 2024-01-12T11:41:46Z 2022-01-14 1994-01-01 https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/86048 기류속도가 수평 웨이퍼상의 입자침착에 미치는 영향 Conference 2 , pp.252 - 257 252 257 대한기계학회 94년도 추계학술대회 논문집(II)