Bae, Gwi Nam 2024-01-12T11:41:50Z 2024-01-12T11:41:50Z 2022-01-14 1994-01-01 https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/86051 수직 웨이퍼상의 입자 침착속도의 측정 Conference 2 , pp.149 - 153 149 153 1994년도 공기조화.냉공공학회 하계학술발표회 강연 및 논문집