조철진 김상태 백승협 김성근 최지원 김진상 강종윤 2024-01-12T12:00:30Z 2024-01-12T12:00:30Z 2018-08-22 https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/86167 반도체 메모리 소자용 커패시터 산화물 전극 제조법 Patent 2018-08-22 2017-03-09 10-1892632 2017-0030046 KO 특허 한국과학기술연구원