이승용 양철민 2024-01-12T12:04:24Z 2024-01-12T12:04:24Z 2020-05-06 https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/86336 보론 나이트라이드(BN) 층의 연속적인 형성 방법, 이를 이용한 전계 효과 트랜지스터 소자의 제조 방법, 및 이로부터 제조된 전계 효과 트랜지스터 Patent 2020-05-06 2015-02-04 10-2109930 10-2015-0017477 KO 특허 한국과학기술연구원