박민철 전영민 우덕하 조정근 조성진 이동수 2024-01-12T12:30:34Z 2024-01-12T12:30:34Z 2013-10-22 https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/86737 극자외선 포토 리소그래피용 마스크 결함 분석을 위한 결맞음 회절 이미징 촬영 카메라 자동 정렬 시스템 Patent 2013-10-22 2012-11-27 10-1322909 2012-0135482 KO 특허 한국과학기술연구원