김진석 이정훈 강성철 서준교 2024-01-12T12:32:18Z 2024-01-12T12:32:18Z 2014-11-04 https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/86811 나노 구조물을 갖는 압력 센서 및 그 제조 방법 Patent 2014-11-04 2012-11-27 8877538 13/686375 US 특허 한국과학기술연구원