이경석 김인호 김원목 2024-01-12T12:33:23Z 2024-01-12T12:33:23Z 2014-03-28 https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/86858 나노 구조체 배열의 제조방법 및 나노 구조체 배열을 포함하는 소자 Patent 2014-03-28 2011-04-06 10-1381395 2011-0031602 KO 특허 한국과학기술연구원