김진상 윤석진 장호원 최지원 강종윤 2024-01-12T12:35:02Z 2024-01-12T12:35:02Z 2011-12-19 https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/86929 유기금속 기상 증착법에 의한 나노구조 화합물 열전반도체의 제조방법 Patent 2011-12-19 2009-12-09 10-1098248 10-2009-0121617 KO 특허 한국과학기술연구원