김일두 김동훈 송용원 2024-01-12T12:35:13Z 2024-01-12T12:35:13Z 2012-05-02 https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/86937 상온에서 증착된 Mg2Hf5O12를 포함하는 유전체 박막, 이를 포함하는 캐퍼시터 및 트랜지스터와 이들의 제조방법 Patent 2012-05-02 2010-01-08 1144015 2010-0001962 KO 특허 한국과학기술연구원