이수연 정증현 정두석 김원목 정병기 2024-01-12T12:36:50Z 2024-01-12T12:36:50Z 2013-04-24 https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/87007 높은 변형율, 빠른 동작 속도를 가진 초소형 작동기의 제조 방법 Patent 2013-04-24 2011-05-31 10-1259382 2011-7012409 KO 특허 한국과학기술연구원