김진상 윤석진 권성도 김현재 김정훈 정대용 2024-01-12T13:01:06Z 2024-01-12T13:01:06Z 2009-02-05 https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/87314 고품질 박막 증착을 위한 화학적 기판처리 방법 및 이를 이용한 박막형 열전소재의 제조방법 Patent 2009-02-05 2007-05-23 10-0883332 10-2007-0050002 KO 특허 한국과학기술연구원