김태영 이철승 이광렬 2024-01-12T13:03:16Z 2024-01-12T13:03:16Z 2006-08-08 https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/87407 아르곤 가스를 이용하여 기계적, 전기적 물성이 개질된 경질 탄소박막과 그 제조방법 Patent 2006-08-08 2005-01-14 0612914 2005-0003859 KO 특허 한국과학기술연구원