변윤기 한경섭 성한규 이승용 최성철 박상환 최헌진 2024-01-12T13:03:32Z 2024-01-12T13:03:32Z 2006-09-05 https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/87418 갈륨망간나이트라이드 단결정 나노선의 제조방법 Patent 2006-09-05 2005-06-24 0623271 2005-0055256 KO 특허 한국과학기술연구원