이태경 박용주 2024-01-12T13:04:22Z 2024-01-12T13:04:22Z 2006-03-28 https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/87454 실리콘 나노 입자를 포함하는 다층 구조의 실리콘화합물 박막 및 그 제조방법 Patent 2006-03-28 2004-05-06 0567395 2004-0031889 KO 특허 한국과학기술연구원