전영하 이광렬 2024-01-12T13:05:30Z 2024-01-12T13:05:30Z 2005-05-04 https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/87502 경질 탄소필름이 코팅된 반도체 봉지용 ＥＭＣ 몰드금형과 그 코팅방법 Patent 2005-05-04 2002-11-22 0489639 2002-0073209 KO 특허 한국과학기술연구원