이윤표 이대영 김경호 김광호 김영일 김호영 김서영 2024-01-12T13:05:58Z 2024-01-12T13:05:58Z 2004-08-20 https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/87522 기포를 이용한 미소 전자 기계 구조의 발전장치 Patent 2004-08-20 2002-10-31 3587840 14-317622 JA 특허 한국과학기술연구원