최원국 정형진 박성주 김민호 김경국 이지면 2024-01-12T13:06:59Z 2024-01-12T13:06:59Z 2004-02-25 https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/87565 아연산화물　반도체　제조방법 Patent 2004-02-25 2001-04-02 0421800 2001-0017301 KO 특허 한국과학기술연구원