민석기 박승철 심광보 박용주 한철원 2024-01-12T13:30:56Z 2024-01-12T13:30:56Z 1992-08-04 https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/87885 디렉트　모니터링　전기로를　이용한　수직온도　구배　냉각　화합물　반도체 단결정　성장장치 Patent 1992-08-04 1991-03-20 5,135,726 07/672,563 US 특허 한국과학기술연구원