김낙중 이기풍 박수영 2024-01-12T13:31:30Z 2024-01-12T13:31:30Z 1994-01-28 https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/87910 플라즈마　중합법에　의한　반도체성　유기박막의　제조방법 Patent 1994-01-28 1991-06-10 0070466 1991-0009530 KO 특허 한국과학기술연구원