박경현 김선호 최상삼 김동환 변영태 2024-01-12T13:32:22Z 2024-01-12T13:32:22Z 1997-04-22 https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/87947 레이저　리소그라피　장비를　이용한　네가티브　마스크　제작방법 Patent 1997-04-22 1993-06-19 114555 93-11279 KO 특허 한국과학기술연구원