민석기 김용 김성일 김무성 2024-01-12T13:33:28Z 2024-01-12T13:33:28Z 1997-07-15 https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/87995 화학증착장치용　히터 Patent 1997-07-15 1995-02-09 5,648,006 08/385,968 US 특허 한국과학기술연구원