민석기 김성일 김무성 2024-01-12T13:34:23Z 2024-01-12T13:34:23Z 1997-08-08 https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/88035 CBr4개스를　이용한　반도체　패턴　측면의　에피성장율　조절방법 Patent 1997-08-08 1996-07-12 2682979 8-182573 JA 특허 한국과학기술연구원