박용주 민석기 김은규 2024-01-12T13:35:42Z 2024-01-12T13:35:42Z 2000-05-25 https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/88092 III족　금속원소　질화물의　미세결정　 제조방법　및　장치 Patent 2000-05-25 1998-06-24 264159 98-23945 KO 특허 한국과학기술연구원