이병철 이활 최리노 2024-01-12T14:03:12Z 2024-01-12T14:03:12Z 2020-12-22 https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/88614 정전용량형 미세가공 초음파 트랜스듀서 Patent 2020-12-22 2019-01-29 10-2196437 10-2019-0011480 KO 특허 한국과학기술연구원