이병철 김진현 오민택 박진수 2024-01-12T14:03:58Z 2024-01-12T14:03:58Z 2019-07-08 https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/88679 트렌치를 따라 주름진 멤브레인을 갖는 멤브레인 소자 및 그 제조방법과 이를 이용한 응용장치 Patent 2019-07-08 2018-04-24 10-1999726 2018-0047184 KO 특허 한국과학기술연구원