박한용 김용수 김영희 성하민 김점술 이주한 Park, Min-Chul Jhon, Young Min 2024-01-12T14:04:53Z 2024-01-12T14:04:53Z 2021-09-29 2016-02 https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/88744 한국반도체학술대회, 2.22~24, 강원도하이원리조트 EUV 고차조화파 coherent 고차조화파 생성 기반의 Coherent EUV 광원 개발 및 출력 특성 Conference 2 Korean Conference on Semiconductors (KCS2016), v.WP1-17 Korean Conference on Semiconductors (KCS2016) WP1-17 KO