김형준 심재필 김상현 2024-01-12T14:30:21Z 2024-01-12T14:30:21Z 2020-05-05 https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/89013 수평 배열된 반도체 채널을 가지는 반도체 소자 및 이의 제조 방법 Patent 2020-05-05 2018-04-18 10644155 15/955690 US 특허 한국과학기술연구원