김상현 김성광 심재필 김형준 2024-01-12T14:31:26Z 2024-01-12T14:31:26Z 2018-04-10 https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/89106 III-V족 화합물의 면방향 의존성을 이용한 에피택셜 리프트오프에 의한 반도체 소자의 제조 방법 Patent 2018-04-10 2017-06-23 9941168 15/631309 US 특허 한국과학기술연구원