한상욱 문성욱 김용수 이인준 정해용 박원규 전동환 신찬수 박경호 김상인 2024-01-12T14:33:29Z 2024-01-12T14:33:29Z 2016-10-10 https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/89275 포토다이오드 및 포토다이오드 제조 방법 Patent 2016-10-10 2014-10-30 10-1666400 2014-0149039 KO 특허 한국과학기술연구원