한승희 김성민 신상범 이근혁 김경훈 2024-01-12T15:00:39Z 2024-01-12T15:00:39Z 2015-03-10 https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/89600 스트레인이 완화된 실리콘-게르마늄 버퍼층 제작 방법 및 그 장치 Patent 2015-03-10 2013-10-21 10-1503000 10-2013-0125355 KO 특허 한국과학기술연구원