전영민 장지웅 박민철 김선호 이택진 이석 변영태 김재헌 우덕하 2024-01-12T15:01:59Z 2024-01-12T15:01:59Z 2013-06-17 https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/89696 마스크 패턴 검사용 광선 자동차단 영상 획득 시스템 및 그 방법 Patent 2013-06-17 2012-02-22 10-1277698 2012-0017765 KO 특허 한국과학기술연구원