백영준 이욱성 박종극 2024-01-12T15:03:23Z 2024-01-12T15:03:23Z 2010-10-28 https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/89811 입방정질화붕소 박막증착방법 Patent 2010-10-28 2010-03-15 10-0991770 2010-22966 KO 특허 한국과학기술연구원