김재경 최준환 박정수 나대석 2024-01-12T15:03:34Z 2024-01-12T15:03:34Z 2013-07-01 https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/89826 산소와 수분 투과의 차단 및 가스 배리어 특성 향상을 위한 Co-sputtering 시스템 및 무기 박막 형성 방법 Patent 2013-07-01 2010-10-28 10-1282959 10-2010-0105898 KO 특허 한국과학기술연구원