문명운 김해리 이진우 이광렬 2024-01-12T15:03:48Z 2024-01-12T15:03:48Z 2015-03-06 https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/89845 실리콘 함유 다이아몬드상 카본 박막, 그 제조방법 및 용도 Patent 2015-03-06 2010-06-15 5706330 2011-535501 JA 특허 한국과학기술연구원