최지원 소형종 이경우 윤석진 2024-01-12T15:31:35Z 2024-01-12T15:31:35Z 2008-07-31 https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/90222 압전액츄에이터를 이용한 파일롯밸브 Patent 2008-07-31 2007-07-03 100850644 1020070066610 KO 특허 한국과학기술연구원