이욱성 채기웅 정증현 백영준 2024-01-12T15:31:38Z 2024-01-12T15:31:38Z 2012-12-18 https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/90226 양광주가 존재하지 않는 직류 전원 플라스마 증착 장치와 양광주를 배제한 상태에서의 물질 증착 방법 및 이에 의해 제조된 다이아몬드 박막 Patent 2012-12-18 2007-08-03 8334027 11/833679 US 특허 한국과학기술연구원