김용태 김성일 김영환 심선일 김춘근 2024-01-12T15:33:39Z 2024-01-12T15:33:39Z 2006-12-19 https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/90393 식각 선택비가 큰 버퍼층을 이용한 자기정렬 강유전체 게이트 트랜지스터의 제조방법 Patent 2006-12-19 2004-08-23 7151001 10/922949 US 특허 한국과학기술연구원