박용주 변동진 김재균 2024-01-12T15:34:01Z 2024-01-12T15:34:01Z 2005-05-23 https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/90425 질화갈륨 박막의 제조방법 Patent 2005-05-23 2003-02-06 0492483 2003-0007497 KO 특허 한국과학기술연구원