Kim Yong Soo Park June 성하민 김점술 이승범 조현우 Park, Min-Chul Cho, Woon Jo Kim, Yong Tae 이주한 Jhon, Young Min 2024-01-12T15:34:43Z 2024-01-12T15:34:43Z 2021-09-29 https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/90468 English CSM Coherent EUV Mask Inspection CD Measurement CD Measurements of EUV Mask using a Coherent Scattering Microscope Mask Inspection Tool CSM 마스크 검사장비를 이용한 EUV 마스크의 CD 측정 Conference 2 차세대 리소그래피 학술대회, v.W-II-7, pp.189 - 190 차세대 리소그래피 학술대회 W-II-7 189 190 KO