Kim Yong Soo Park June Kim Younghee 성하민 김점술 이승범 조현우 Cho, Woon Jo Kim, Yong Tae 이주한 Jhon, Young Min 2024-01-12T15:34:44Z 2024-01-12T15:34:44Z 2021-09-29 https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/90469 English EUV HHG Nonlinear Characteristic Analysis of Coherent EUV Light Source based on High-order Harmonic Generation 고차조화파 생성 기반의 극자외선 광원 특성 분석 Conference 2 차세대 리소그래피 학술대회, v.F2-II-1, pp.44 - 45 차세대 리소그래피 학술대회 F2-II-1 44 45 KO