김창삼 김선혜 송문섭 2024-01-12T16:00:11Z 2024-01-12T16:00:11Z 2004-11-05 https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/90698 기판 소성용 가압장치 및 기판가압방법 Patent 2004-11-05 2002-09-12 0457359 2002-0055227 KO 특허 한국과학기술연구원