김재수 신종철 노대호 김두용 김긍호 변지영 윤진국 이종권 2024-01-12T16:00:30Z 2024-01-12T16:00:30Z 2009-11-24 https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/90728 MoSi2-Si3N4 복합피복층 및 그 제조방법 Patent 2009-11-24 2006-07-10 7,622,152 11/482,840 US 특허 한국과학기술연구원