Jhon, Young Min Kim Yong Soo Ahn Joonmo Lee, Ju han Sung, Hamin Kim, Jomsool 이승범 조현우 Park, Min-Chul Cho, Woon Jo Kim, Yong Tae 2024-01-12T16:04:53Z 2024-01-12T16:04:53Z 2021-09-29 https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/91104 English Coherent Scattering Microscopy Mask Inspection EUV Development of Coherent Scattering Microscopy Mask Inspection System using a Coherent EUV Light Source 결맞는 극자외선 광원을 이용한 CSM 마스크 검사장비 개발 Conference 2 차세대 리소그래피 학술대회, pp.148 - 149 차세대 리소그래피 학술대회 148 149 KO