금동화 김주성 김진상 이지화 2024-01-12T16:30:48Z 2024-01-12T16:30:48Z 2003-10-03 https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/91319 질소　공급원으로서　질소　원자－활성　종을　사용하는　유기금속　화학증착에　의한　I I I족　금속　질화물　박막 Patent 2003-10-03 2000-11-30 3479041 12-364147 JA 특허 한국과학기술연구원