조영환 2024-01-12T16:32:07Z 2024-01-12T16:32:07Z 2022-05-04 https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/91440 실리콘 습식 분쇄용 혼합 분산액 및 이를 이용한 나노 실리콘 슬러리 제조 방법 및 이에 의해 제조된 나노 실리콘 슬러리 Patent 2022-05-04 2020-08-07 10-2396201 10-2020-0099056 KO 특허 한국과학기술연구원