최원준 이혜진 백정민 2024-01-12T17:00:29Z 2024-01-12T17:00:29Z 2019-11-11 https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/91858 나노선 어레이 제조방법 및 이를 포함하는 변형센서 제조방법 Patent 2019-11-11 2018-06-01 10-2045473 2018-0063762 KO 특허 한국과학기술연구원