이병철 김진현 오민택 박진수 2024-01-12T17:00:45Z 2024-01-12T17:00:45Z 2021-08-24 https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/91882 트렌치를 따라 주름진 멤브레인을 갖는 멤브레인 소자 및 그 제조방법과 이를 이용한 응용장치 Patent 2021-08-24 2019-03-06 11097943 16/294032 US 특허 한국과학기술연구원