김형준 심재필 김상현 2024-01-12T17:01:31Z 2024-01-12T17:01:31Z 2019-10-14 https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/91950 수평 배열된 반도체 채널을 가지는 반도체 소자 및 이의 제조 방법 Patent 2019-10-14 2017-05-30 10-2034175 2017-0066818 KO 특허 한국과학기술연구원