장혜정 이광엽 김진연 문선영 백승협 2024-01-12T17:02:08Z 2024-01-12T17:02:08Z 2018-01-02 https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/92004 전자빔을 이용한 단결정 금속 산화물 나노구조 제조 방법 Patent 2018-01-02 2016-05-31 10-1816222 2016-0067736 KO 특허 한국과학기술연구원