김원목 김선영 박종극 정증현 2024-01-12T17:02:45Z 2024-01-12T17:02:45Z 2018-06-27 https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/92056 초박형 금속박막 및 그의 제조 방법 Patent 2018-06-27 2016-10-24 10-1873859 2016-0138547 KO 특허 한국과학기술연구원